小抽速愛德華螺桿泵真空泵IX80/160，螺桿真空泵IX系列產品是抽氣量很小的螺桿系列產品，一般是在半導體實驗室使，，真空泵配件，和真空泵維修，Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。