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    安捷倫分子泵竟然應(yīng)用于如此廣泛的領(lǐng)域

    更新更新時(shí)間:2025-04-25 瀏覽次數(shù):228

      安捷倫分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械泵,因此對(duì)平衡的要求很高,對(duì)固體異物非常脆弱,通常要在分子泵的入口處安裝金屬過(guò)濾網(wǎng)。分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。常規(guī)的分子泵使用軸承來(lái)確保葉片的高速旋轉(zhuǎn)。新型的分子泵采用磁懸浮構(gòu)造,使得葉片轉(zhuǎn)速不斷提高的同時(shí),更使分子泵適合超高真空系統(tǒng),也延長(zhǎng)了分子泵的使用壽命。
      安捷倫分子泵的主要應(yīng)用范圍:
      1、半導(dǎo)體制造
      光刻工藝:用于創(chuàng)造和維護(hù)高真空環(huán)境,確保光刻機(jī)的精確對(duì)準(zhǔn)和曝光過(guò)程。
      薄膜沉積(PVD/CVD):在物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積過(guò)程中,提供高真空環(huán)境,防止雜質(zhì)污染。
      刻蝕工藝:在干法或濕法刻蝕中,用于抽取反應(yīng)氣體和揮發(fā)性副產(chǎn)物。
      離子注入:提供高真空環(huán)境,確保離子束的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
      2、科學(xué)研究
      表面科學(xué):用于掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)等表面分析設(shè)備的真空系統(tǒng)。
      材料科學(xué):在材料生長(zhǎng)(如MBE分子束外延)和材料性能測(cè)試中,提供超高真空環(huán)境。
      粒子物理與核物理:用于粒子加速器、同步輻射裝置等大型科學(xué)設(shè)備的真空系統(tǒng)。
      空間模擬:在航天器環(huán)境模擬試驗(yàn)中,創(chuàng)造高真空環(huán)境以模擬太空條件。
      3、光學(xué)與光電子領(lǐng)域
      激光技術(shù):用于激光器的制造和測(cè)試,提供無(wú)油污染的高真空環(huán)境。
      光電器件制造:在LED、OLED等發(fā)光器件的封裝過(guò)程中,確保真空環(huán)境以避免氧化和污染。
      電子顯微鏡:為透射電子顯微鏡(TEM)和掃描電子顯微鏡(SEM)提供高真空環(huán)境。
      4、化工與制藥
      高純度材料生產(chǎn):在半導(dǎo)體級(jí)硅材料、高純化學(xué)品等生產(chǎn)過(guò)程中,用于去除揮發(fā)性雜質(zhì)。
      冷凍干燥:在制藥和食品工業(yè)中,用于低溫真空干燥過(guò)程,保留物質(zhì)活性。
      析出與結(jié)晶:在高真空條件下進(jìn)行材料的析出和結(jié)晶,提高純度和質(zhì)量。
      5、醫(yī)療與生物技術(shù)
      質(zhì)譜分析:在醫(yī)用質(zhì)譜儀中,用于提供高真空環(huán)境,確保分析精度。
      冷凍電鏡(Cryo-EM):用于生物大分子結(jié)構(gòu)的高分辨率成像,需要極低的真空環(huán)境。
      醫(yī)療器械制造:在無(wú)菌包裝和精密零部件加工中,提供清潔的真空環(huán)境。
      6、航空航天
      航天器推進(jìn)系統(tǒng)測(cè)試:用于模擬太空環(huán)境,測(cè)試離子推進(jìn)器、霍爾推進(jìn)器等真空部件。
      航空材料研發(fā):在高溫合金、復(fù)合材料等航空材料的制備和測(cè)試中,提供高真空環(huán)境。
      衛(wèi)星熱真空試驗(yàn):模擬太空熱循環(huán)條件,檢驗(yàn)衛(wèi)星設(shè)備的可靠性。
      7、能源與環(huán)保
      核聚變研究:在托卡馬克裝置等核聚變實(shí)驗(yàn)中,提供高真空環(huán)境以維持反應(yīng)穩(wěn)定性。
      太陽(yáng)能電池制造:用于光伏材料的沉積和封裝過(guò)程,提高電池效率和壽命。
      環(huán)境監(jiān)測(cè):在大氣采樣和痕量氣體分析中,提供高真空條件以提高檢測(cè)靈敏度。
      8、其他高d制造
      精密儀器制造:在高精度光學(xué)器件、鐘表零件等制造過(guò)程中,提供無(wú)油污染的真空環(huán)境。
      電子束焊接與熔煉:用于高純度金屬的焊接和熔煉,避免氧化和雜質(zhì)污染。
      納米技術(shù):在納米材料的制備和表征中,提供超高真空環(huán)境。

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